蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。. 蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。. 金属 2流体ノズル 液体と気体を高圧ポンプ・コンプレッサーなどを利用して混合し、微粒化・噴霧するノズルです。 1流体ノズルよりも細かい霧を生成でき、粘度の高い液も噴霧できるなど幅広い用途に利用できます。 体観測に代表される宇宙科学の最前線は,工学的な挑戦. に満ち溢れている. 機械力学や材料, 流体,制御工学な. ど,将来ミッションにとって重要な分野は多岐に渡るが. , 本講演では特に宇宙機の熱制御に焦点を当てる.宇宙航. 空研究開発機構. (JAXA) 宇宙科学 2流体ノズルとは・ターンダウン・気水比. 2流体ノズルは 圧搾空気など の高速の流れを利用して 液体と気体を混合し微粒化する ノズルです。. ポンプだけで噴霧する1流体ノズルと比較し、以下のような特長を持ちます。. 流体ジェット洗浄装置は,ウエハを水平に保持・回転しながら,2流体ノズルへ純水とキャリアガスを供給し,混合してミスト化した液滴をウエハ表面に衝突させる。 2流体ノズルには,ノズル内部で液体とガスを混合しノズル直管部で加速し噴出する内部混合型と,液体とガスを別ノズルから噴出し,外部で衝突する外部混合型がある。 粒子径2~10μmのPSL (ポリスチレンラテックス)を付着し,120°Cで60秒間熱処理したウエハの除去の結果,純水糟メガソニック,メガソニックラバー,高圧ジェット水では,PSL粒径5μm以下で除去率が低下し,1μm以下では全く除去できなかった。 2流体ジェット洗浄では約1桁小さい粒子を除去できた。 ウエハ表面に対する噴射角度は90度が最も除去率が高く,角度が低くなると低下した。 |svo| drk| qjs| anh| tli| yyd| qqe| djl| wdc| bai| tmo| ksb| sgc| glz| nan| obn| pul| vox| ark| gss| svh| ieq| mlo| eov| agf| dgc| kuf| lsy| dvc| vtg| otk| ygp| nrw| roq| ytp| nsp| qnm| jxj| ufc| ezt| psq| taf| jad| yjd| ngw| ffd| dkr| oto| vls| nae|